碳化硅晶片废水主要有哪些？

问答库 2023年12月06日 08:58 486 问答库

碳化硅晶片废水主要有哪些？

　　碳化硅晶片在生产过程中会产生大量的废水，这些废水如果不经过处理就排放的话，会对周边环境造成严重的危害。那么碳化硅晶片废水主要有哪些？下面就让三达膜小编为大家详细介绍有哪些？

　　（1）切磨废水。开方硅锭经少子寿命测试后，截断无效部分，对断面磨光打平，产生研磨废水，废水主要成分为硅粉。

　　（2）预清洗废水。硅锭切片后，用水枪将硅片表面切削砂浆（由切削液和金刚砂配制，主要成分为聚乙二醇和碳化硅）和硅粉喷洗干净，产生预清洗废水。预清洗废水水量大、有机物浓度高，是硅片生产废水中最难处理的一股废水。

　　（3）硅片清洗废水。检查合格的硅片采用柠檬酸等浸泡进一步去除表面金属等杂质，该股废水有机物浓度高，但水量较小。

　　（4）超声波清洗废水。酸洗后硅片采用超声波技术用大量超纯水清洗，该股废水水量大，污染较小。厂区目前生产废水约960m3/d，已接近满负荷生产

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碳化硅晶片废水处理方法有哪些？

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