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2024-04-30 50 污水处理
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20世纪90年代以来,全球电子产业蓬勃发展,而经过多年的改革开放,我国的电子工业已逐渐成为“世界电子制造业的加工厂”。目前,国家正在大力发展晶圆厂,在晶圆棒和晶圆的制造过程中,在切割、研磨、划线、减薄、化学研磨平整(CMP)等工序后的清洗过程中会产生研磨废水。研磨废水中含有少量的研磨膏、被研磨下来的微小颗粒和清洁剂,但其中的水质相对较好,电导率和TOC含量较低,具有回收利用的价值。那么电子研磨废水回用的难点有哪些?下面就让三达膜小编为大家详细介绍一下。
电子研磨废水回用的难点在于废水中的颗粒物非常微小,使用传统的介质过滤是没有办法去除的。现有技术一般采用混凝沉淀进行预处理,然后采用高分子有机物制成的超滤技术,利用有机超滤膜孔径小的特点,拦截研磨废水中的微小颗粒,回收合格的产水。但是,由于研磨废水中颗粒的尖锐性和有机超滤的机械强度不足,容易断丝,过滤效果差。
此外,有机超滤对进水中的SS和TOC的耐受性有限,对预处理要求严格,化学稳定性有限,运行故障后膜性能恢复不理想,所以有机超滤的使用故障率高,更换频繁。因此,如何有效解决处理研磨废水过滤效果差的问题是人们关注的问题。
以上就是三达膜小编给大家介绍的具体内容了,希望能够帮助到大家对上述问题有更深的认识。上述内容仅供大家参考,还是要以实际出现的问题对症下药才能更好的解决问题。如果大家想了解更多案例或技术方面内容,可登陆三达膜官网,还可以与我们的在线客服进行交流或关注三达膜公众号。
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